文献综述
文 献 综 述1.研究背景及意义由于大气环境污染问题日益突出 ，准确监测获取环境组分信息十分重要，精准监控获取大气信息的要求被广泛提及。
大气探测的有效手段正是光谱探测技术，其目前正在朝着多波段融合、多领域应用方向发展，因此对光谱探测器的探测精度与响应灵敏度要求也越来越高。
作为紫外-红外集成探测器的关键元件，高性能的光学薄膜是实现其功能的重要保障之一。
应用光谱探测技术，结合现代科技手段得到环境参数并保证其准确性。
同样在空间环境、军事侦察、遥感及生产生活等领域，为满足高灵敏度、高分辨率、快速响应、实时探测等要求，研制应用在光谱探测系统中的高性能光学薄膜就显得尤为重要[1]。
所谓增透膜，就是一种应用最广的光学薄膜，用于减少光学元件表面的反射，提高工作波段光线的透光率，减少光能损失[5]。
应用于照相机、显微镜、摄像机等光学元件，通过镀减反射膜来提高光能量，增加光线透光率，改善光学元件成像质量。
紫外线是位于可见光与伦琴射线之间的一种电磁波，按照波长的不同，紫外线被分为真空紫外(10nm～200nm)、深紫外(200nm～280nm)、远紫外(280nm～315nm)、近紫外(315nm～400nm)。
深紫外又称日盲紫外，该波段探测技术具有响应速度快、灵活性高、在预警搜索等领域虚警率低等优点，被广泛用于火灾探测、光谱分析、粒子探测等领域[1]。
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