文献综述（或调研报告）：
红外光谱是一种强大的分析方法，因为许多物质可以通过其独特的吸收光谱可靠地加以区分。常规的红外光谱仪是复杂且昂贵的仪器，其尺寸和功耗而使其便携性受到限制。红外光谱仪有各种各样的应用，例如医学诊断和保健（例如，感测人的呼吸中的气体），检测有害物质（例如，可燃气体和有毒气体，检测爆炸物），制药和化学工业中的过程监控等。
对于可见光和近红外波长，建立了基于光栅和检测器阵列的多种解决方案。但是，对于中波和长波红外（3-12 micro;m），由于两个原因，它们没有成功：光通量有限和昂贵的阵列检测器。另一方面，由于傅立叶型（FT）光谱仪（例如Michelson干涉仪）复杂的光学设置，因此难以在MEMS技术中实现。在文献甚至商业化产品中都有针对MEMS FT系统的一些方法。但是，它们又一次受到光通量有限的困难。R. A. Crocombe等人在2008年对不同的红外显微光谱仪技术进行了全面综述。与上述经典概念相比，用微机械Fabry-Peacute;rot干涉仪（FPI）作为可调滤光片（micro;FP滤光片，micro;FPF）似乎最合适。利用MEMS技术，可以很容易地实现两个平行反射器在很短距离内形成FP腔的布置，该MEMS技术可以实现高度的小型化，同时保持足够大的光通。
F-P结构由两块高反射率的平行镜面组成，中间填以介质构成谐振腔，如图１所示。在不考虑平行镜面内反射光线在界面处的相位变化时，每个波和它前一个波的相位差对应平行镜面内走过的两段路程差，相位差为
式中Ｌ为腔长，ｎ为腔内介质折射率，lambda;为入射波长，theta;ｉ为入射角。入射光在两高反射镜面间发生多次反射和透射，反射光和透射光发生多光束干涉，其透射光干涉光强分布为
式中Ｒ 为镜面的反射率，Ｔ 为透射率。
当介质为空气（ｎ＝１）、入射角为零（theta;ｉ＝０）时，可得到F-P透射波长（lambda;＝2k）与腔长Ｌ成正比，故可以通过改变腔长Ｌ来实现F-P透射波长的调。
以上是毕业论文文献综述，课题毕业论文、任务书、外文翻译、程序设计、图纸设计等资料可联系客服协助查找。
