摘要
钛酸钡(BaTiO3)基薄膜材料因其优异的铁电、介电和光电性能，在电子元器件、传感器和能源存储等领域展现出巨大的应用潜力。
然而，传统BaTiO3薄膜材料在某些性能上仍存在不足，限制了其更广泛的应用。
近年来，作为一种新型的钛酸钡基材料，BaTi2O5因其独特的晶体结构和优异的性能，引起了研究人员的广泛关注。
溶胶-凝胶法(Sol-gel)作为一种常用的薄膜制备技术，具有成本低廉、工艺简单、易于控制成分和厚度等优点，被认为是制备高质量BaTi2O5薄膜的有效方法之一。
本文综述了近年来溶胶-凝胶法制备BaTi2O5薄膜及其性能研究的最新进展。
首先介绍了BaTi2O5的结构、性能及其应用，以及溶胶-凝胶法的基本原理和特点。
其次，重点阐述了溶胶-凝胶法制备BaTi2O5薄膜的工艺流程、关键工艺参数的影响，以及不同制备条件对薄膜的结构、形貌、光学和电学性能的影响规律。
最后，总结了溶胶-凝胶法制备BaTi2O5薄膜存在的挑战，并展望了其未来的发展趋势。
关键词：BaTi2O5薄膜；溶胶-凝胶法；结构；性能；应用
随着电子器件的小型化、集成化和多功能化发展，对材料的性能提出了更高的要求。
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