文献综述
1、课题的背景
陀螺仪器最早是用于航海导航，但随着科学技术的发展，它在航空和航天事业中也得到广泛的应用。自1910年首次用于船载指北陀螺罗经以来，陀螺已有近100年的发展史，发展过程大致分为4个阶段:第一阶段是滚珠轴承支承陀螺马达和框架的陀螺；第二阶段是20世纪40年代末到50年代初发展起来的液浮和气浮陀螺；第三阶段是20世纪60年代以后发展起来的干式动力挠性支承的转子陀螺；目前陀螺的发展已进入第四个阶段，即静电陀螺、激光陀螺、光纤陀螺和振动陀螺。
MEMS陀螺仪体积小，功耗低，成本低，可嵌入电子，信息，智能控制系统中，使得系统体积和成本大幅度下降，而且总体性能大幅度提升。由于这些优点使其在高精度领域拥有广阔的发展前景。
2、课题研究的现状及发展趋势
我国的MEMS技术研究工作起步较晚，但正积极开展研究，国家已经投入巨资用于MEMS陀螺的研究。目前主要的科研单位有，清华，北大，中科院上海微系统所，东南大学，哈工大得多家研究所。经过10多年的努力，在基础理论，加工技术和工程应用等方面的研究已经取得初步的进展。但不可否认，与国外差距仍然较大，高性能微机械陀螺少有商业化产品。
3、课题研究的意义和价值
陀螺仪是一类用来测量角速度的惯性传感器，在姿态测量和导航定位等领域有着广泛的应用。但是随着高新技术的发展和市场需求的多样化，传统陀螺仪的缺点越来越突出：传统机械陀螺体积较大，结构复杂，加工条件苛刻，制成后需要严格的动平衡试验，不易批量生产，而且在使用过程中，转子容易发生磨损和漂移，影响测量精度；后来居上的光学陀螺体积相对变小，但仍然不符合集成化、微型化和低功耗的传感器发展潮流，加之复杂昂贵的光路设计和温度漂移明显等缺点，严重限制了其在民用消费领域的应用。近年来，微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System，MEMS)加工技术[1]大量应用于惯性传感器制造领域。作为一种综合性多学科交叉技术，它利用集成电路(IC)制造技术和微加工技术把微机械结构、微传感器、微执行器、微控制器甚至硬软件接口、通讯和电源等模块电路集中生产在一块或多块芯片上的集成微系统，以实现惯性传感器的微型化、批量化、和低成本生产，大幅度提高惯性传感器的性价比[2]。基于此技术加工生产的角速度传感器称之为MEMS陀螺仪。
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